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■主な特徴
- 320℃〜の低温封止温度
- シリンコン、コバール、アルミナなどの低熱膨張材料のハーメチックシール
- スクリーン、ステンシル印刷、ディスペンス
■アプリケーション
- MEMSのWafer−level packaging(WLP)用接着
- パッケージのコバールやセラミックリッドの接着
- パッケージのガラスやクゥオーツの接着
- 光学レンズの接着
■製品情報
DM2700P/H848
- 320℃ 低温封止可能
- ファインライン印刷、またはディスペンス可能
DM2700P/J105
- DM2700P/H848 のファインガラス粒径タイプ
- H848よりも均一で薄い膜厚が可能
DM2760P/H894
- 380〜400℃ 封止可能
DM2995P/J141
- Pbフリーガラス
- 480〜500℃ 封止可能
■物性値
| 品番 | 粘度 | 膜厚(μm) | シーリング温度 | Tg | CTE(25 to 125℃) |
| DM2700P/H848 | 90 Pa・s | 100-180 | 350℃1分 | 215℃ | 7.7ppm/℃ |
| DM2700P/J105 | 90 Pa・s | 50-125 | 350℃1分 | 215℃ | 7.7ppm/℃ |
| DM2760P/H894 | 90 Pa・s | 100-180 | 400℃1分 | 260℃ | 6.9ppm/℃ |
| DM2995P/J141 | 90 Pa・s | 100-180 | 500℃1分 | 362℃ | 6.4ppm/℃ |